MEMS市場の期待アプリは？
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PVJapan 2008
マイクロマシン/MEMS展
JPCA Show 2008
人とくるまのテクノロジー展
組込みシステム開発技術展
ファインテック・ジャパン
Display2008
PV EXPO 2008/FC EXPO 2008
nano tech 2008
インターネプコン
シャープと東芝が提携
日立，キヤノン，松下，提携
SEMICON Japan 2007
▲レーザ超音波検査装置（日本レーザー）
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Solar-Cellユーティリティ
半導体検査装置
非接触表面・層断面形状計測システム
LED用エージングテスタ
クリーンバタフライバルブ
検査機能内蔵マウンタ
X線透視検査装置
薄型アライメントステージ
自動マクロ検査装置
小型モジュラーマウンタ
CMOS
液浸リソグラフィ
カーボンナノチューブ
システムLSI
ナノテクノロジ
鉛フリーはんだ
半導体
マイクロマシン
有機EL
Press Journal Inc.
2003-2008
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自動遠心式スプレー洗浄乾燥装置 Storm300
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特徴
- 効率的：300mm用FOUP/FOSBのポッド及びドアの洗浄，乾燥を約30分で完了（Storm300）。200mmキャリアにおいては最大で24個を一度に処理可能（StormII）
- ウルトラクリーン：ポンプにより昇圧した純水をスプレーしながらワークを回転させる事によりウルトラクリーンを実現（界面活性剤の添加オプション有）
- すぐれたCOO：スルー・ザ・ウォール設置方法により高清浄度エリアでの設置面積を低減（StormIIIはオプション）
- 独自の洗浄/乾燥方式により圧倒的な小フットプリント，高スループットを実現
問い合わせ先
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MEMS 加速度センサ校正・検査装置
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特徴
- デバイスの装置への着脱はマニュアル，以後の静止姿勢での評価・検査は自動
- 姿勢制御：XYZ3軸360度任意制御
- 温度範囲：−40℃〜＋120℃
- データ伝送：無線式
- 検査仕様：打合せによる
問い合わせ先
- TEL 03-3253-6000 FAX 03-3253-5444
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NTS5700不揮発性メモリーサイクリングテスター
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特徴
- デバイス同時測定数：最大768個（16ビット品，NORフラッシュの場合）
- DUT供給電源：4電源（追加4電源まで増設可能）
- ファイルビットカウンター：4GB
- エラーキャプチャーRAM：Max.4K
- アドレスチャネル：64
- CEマスク機能：72チャネル（完全個別制御可能）
- コントロールライン：16ライン（双方向）＋32ライン（Drive Only）
- 長期信頼性試験対応：すべての接続チャネルのオープン・ショート試験可能
- システムキャリブレーション機能：キャリブレーションボードによる全ての電源校正可能
問い合わせ先
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ビデオ信号発生器用信号 TG45AX503
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特徴
- FPD-TVの測定方法を定めたSJ/T11348-2006規格に準拠したテスト信号で，中国天津大学が考案した複合テストパターン
- 出力ビデオフォーマットは，HDTVの1080/50iシステム，SDTV PALの576iをサポート。オプションで，HDMI出力ユニットも用意
問い合わせ先
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視覚センサ スーパー5000K
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特徴
- 時空トライアングル技術を搭載
- 視野幅（検査対象の幅）の1/11万5850の点欠点の検知能力を備える
- 従来CCDカメラ方式の6000倍の被写界深度（ピントの深さ）
- 目視の116.5倍の微細欠陥検出精度
- 人間の14倍以上の精度で色ムラを定量的に検知できる
問い合わせ先
- デジタルシステム事業部
- TEL 03-3453-9111 FAX 03-5484-6785
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X線分析装置 JSX-3100RII
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特徴
- 液体窒素フリーのエネルギー分散形蛍光X線分析装置
- 重元素にも感度が高いSi-Li半導体検出器と，RoHS規制成分の検出に最適化したX線フィルタの採用により，微量元素を高感度で検出することができる
- 測定元素：Na〜U
問い合わせ先
- 経営戦略室 広報・IRグループ
- TEL 042-542-2106 FAX 042-546-9732
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卓上型LCD配向膜検査装置 LayScan-Labo
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特徴
- 研究開発部門・品質検査部門などでの使用を想定した卓上型
- LCDパネルの表示良否を決定する要因である配向膜の配向方位角，傾斜角を高速測定
- 膜厚測定，屈折率測定などの豊富な機能を搭載，光配向，斜方蒸着によって作成された配向膜も測定可能
問い合わせ先
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