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トッキ，大型スパッタリング量産製造装置を完成（08/2/27）
トッキは有機EL成膜・封止全自動システムの真空応用技術をベースに，化合物薄膜太陽電池向け大型スパッタリング量産製造装置を完成した。同装置は，安価なガラス基板上に，Si系に比べ約1/100の厚さ（3〜4μｍ）の化合物薄膜を形成するため，低コストでの量産化を可能としている。また，製造に必要なエネルギーコストが少ないことなどから，より環境に優しい次世代太陽電池として期待されている。
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