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アルバック，第8.5〜10世代対応のCF用スパッタを開発（08/1/16）
アルバックは，第8.5世代から第10世代のカラーフィルタ（CF）用ガラス基板に対応した縦型インラインスパッタリング装置「SDP-2600VTX/3000VTX」を開発した。両装置は，従来のコンセプトとは全く異なる2枚同時搬送成膜を採用することで，1枚当たり30秒の高スループット（タクトタイムは60秒）を実現している。また，これにより，基板の処理チャンバ内における滞在時間を十分に取ることが可能となり，安定した成膜プロセスを提供するとができる。さらに，カソードについても，揺動マグネット方式を搭載するとともにターゲット形状・厚さの最適化を図ることで，ノジュールの発生を削減することが可能となっている。これにより，ITOターゲットの寿命が従来比で約2倍に向上している。なお同社では，今後1年間で，両機種合わせて5台の販売を見込んでおり，初号機については，08年10月頃に出荷される計画となっている。
- 【ホームページ】 http://www.ulvac.co.jp/
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