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レーザーテック，LCD用の第10世代対応装置を2機種発表（08/3/27）
レーザーテックは，第10世代以上のLCD生産に用いられるサブミクロンパターン対応大型フォトマスク用自動欠陥検査装置「LI712」の製品化を発表した。同製品は，第8世代用大型フォトマスク検査用のパターン欠陥検査装置「51MDシリーズ」をさらに発展させたもの。主な特徴としては，Die to Dieおよび双眼同時Die to Database検査（ダブルDB）が可能となっており，このダブルDB搭載により，従来比2倍のデータベース検査速度を実現した。また，新型TDIセンサと並列画像処理回路で同1.25倍の高速検査実現。さらに，新型TDIセンサ/新設計高NA･g線用対物レンズにより高解像度を実現している他，ハーフトーンおよびサブピクセル対応データベース展開エンジンを採用している。なお，オプション対応で装置内でのペリクル貼り付け機能も追加できる。
また，同社は，第10世代対応LCD用フォトマスクに対応するペリクル検査・貼り付けシステム「71PA/71PP」の製品化を発表した。同装置は，上記のマスクパターン検査装置LI712とインラインで連結し，ペリクルの検査，仮貼りから最終貼り付けまでを一貫して行う装置。マスクをLI712で検査した後に既存のペリクル貼り付け装置へ運ぶ従来のプロセスに比べ，異物が付着するリスクを大幅に低減する事が可能となる。この他の特徴として，ペリクルを貼り付ける際，4か所のCCDカメラでマスク端とペリクル端の間隔を測定し，アライメント操作が可能となっている。また，ペリクル異物自動検査，レビュー機能，Air Blowして異物を除去する機能および表裏反転機能などを搭載し，高い操作性を実現している。さらに，検出した異物を明視野または暗視野で観察でき，また異物の画像データも保存可能なため，良否判定だけでなく品質管理や不良解析にも有効となる。
- 【ホームページ】 http://www.lasertec.co.jp/
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