【ファインテック・ジャパン/Display2008】
ソディック EMG，門型XYステージを出品（08/4/18）
ファインセラミックスなど新素材製品の開発，製造，販売を行うソディック EMGは，同社主力のアルミナセラミックSA610を素材とした門型XYステージを参考出品として展示した。同製品は，エアー静圧軸受けとコアレスリニアモータの組み合わせにより，完全非接触案内構造となっている。また，磨耗や発塵の心配がなく，1μm以下/1000mmの運動制度を長期間にわたって維持することができる。展示品は，石定盤サイズ1500mm×2200mm×350mm，テーブルサイズ1100mm×900mmであったが，最大サイズでは，石定盤サイズ2200mm×3000mm×450mm，テーブルサイズ1550mm×1350mmの実績を持つという。なお，同製品は，Z軸にカメラなどを搭載することで，ガラス基板検査などに対応する。
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