【ファインテック・ジャパン/Display2008】
内外テクノシステムズ，真空チャックユニットを展示（08/4/18）
内外テクノシステムズは，多孔質セラミックス真空チャックユニットの展示を行った。同製品は，微細な気孔から空気を吸出し，セラミックス表面にガラス基板など研磨物を貼り付けて作業できる。吸着部は，被吸着物形状に合わせて製作可能，さらに，オール多孔質セラミックへの対応もできる。また，独自のセラミックス焼結法の採用により，多孔質セラミックス内部からの発塵の心配がなく，使用環境を汚染しない。装置サイズとしては，2.5mまでの実績があり，顧客の要望に応じて第10世代以降への対応も可能としている。
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