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SEMI，FPD・MEMS・半導体分野で標準規格4件を発行（08/6/26）
Semiconductor Equipment and Materials International（SEMI）は，FPD・MEMS・半導体分野の重要技術に関する標準規格4件を発行した。新規格は08年7月の規格改定で770以上あるSEMI規格に追加される。新規格の名称は，SEMI D53-0708，SEMI D52-0708，SEMI MS7-0708，SEMI T19-0708。
SEMI D53-0708は，FPDマスク用ペリクルの透過率と強度のバランスに関する規格で，330mm×450mmから1220mm×1400mmまでのサイズのペリクルの規格化に利用できる。SEMI D52-0708は，FPD基板のトレーサビリティのための規格で，基板に打ち込む二次元バーコードのポジションについて規定している。SEMI MS7-0708はMEMS分野における微小流体に関する規格，SEMI T19-0708は半導体デバイスへのユニークIDコードの付与に関する規格である。
- 【ホームページ】 http://wps2a.semi.org/wps/portal/
_pagr/117/_pa.117/122?dFormat=application/
msword&docName=P044053
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