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信越化学,マイクロコンタクトプリントの版用材料を開発(08/7/3)

信越化学工業は,次世代のプリンタブルエレクトロニクスの基幹技術であるマイクロコンタクトプリントに欠かせない版(スタンプ)用シリコーンゴムを開発した。プリンタブルエレクトロニクスは,高真空と高温の製造条件が必要とされる従来のフォトリソグラフィによるTFTパターニングを,それらの製造条件が不要な印刷法を用いて行う技術で,電子ペーパー,LCDや有機ELのフィルム化などフレキシブルディスプレイへの応用が期待されている。その中で,マイクロコンタクトプリント法は,サブミクロンメートルの超微細かつ大面積印刷が可能な唯一の方法であり,大きな期待が集まっている。同技術は,新エネルギー・産業技術開発機構(NEDO)の委託で化学技術戦略機構(JCII)と産業技術総合研究所(AIST)が共同実施している「超フレキシブルディスプレイ部材技術開発」プロジェクトとして開発が進められているが,この中で信越化学はポリジメチルシロキサン(PDMS)系版材の開発を担当。今回発表されたシリコーンゴムは,このプロジェクト活動の一環として開発されたもので,同材料を用いた版材はフォトリソグラフィで形成されたマスター型を忠実に再現・転写する本来の機能に加えて,印刷材料としての適性にも優れている。また,障害となる不純物を最小限に抑え,帯電防止性能も付与されていることも特徴としている。今後,同技術はμ-TASやポリマーMEMS用のモールド材料としての応用も期待されている。



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