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2010年1月
iSuppli,13年のMEMSマイク出荷数は12億個(10/2/8)
Bosch Sensortec,2m角の3軸加速度センサを発表(10/1/29)
MemsONEコンソーシアム,MEMS用設計・解析支援システムを販売開始(10/1/22)
浜ホト,MEMS技術による狭ピッチバンプ接合で異種接合イメージセンサを開発(10/1/22)
ST,MEMSデジタル・コンパス・モジュールを発表(10/1/15)
ST,加速度・角速度の検出を集積したモーション検知モジュールを発表(10/1/15)
iSuppli,13年のSi磁気センサ市場は14億ドル規模(10/1/4)
ITC,Knowlesら2社の特許侵害を調査,ADIの提訴受け(10/1/4)
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