|
|
|
 |
SUSSのMEMSプロセスツール，SVTCが採用（08/6/27）
SUSS MicroTecは，同社のMEMS向けプロセスツールが，SVTC Technologiesの工場（米国テキサス州Austin）で採用されたと発表した。今回採用されたツールセットには，MEMSデバイス製造における重要プロセスであるリソグラフィおよびボンディング工程のためのマニュアル/自動プラットフォームが含まれているという。
|
|
|
|
SUSS MicroTecは，同社のMEMS向けプロセスツールが，SVTC Technologiesの工場（米国テキサス州Austin）で採用されたと発表した。今回採用されたツールセットには，MEMSデバイス製造における重要プロセスであるリソグラフィおよびボンディング工程のためのマニュアル/自動プラットフォームが含まれているという。