ASML，i線スキャナで毎時150枚の処理を達成（07/9/13）

ASML Holdingは，同社の300mmウェーハ対応i線スキャナ「TWINSCAN XT:400F」を用いて，1時間当たり150枚，24時間で3596枚のウェーハ処理を達成したことを発表した。
TWINSCANシステムは，二つのステージが計測と転写を交互に行うことによりノンストップのウェーハ露光を実現する，独自のデュアル・ステージ・ウェーハ処理技術を採用している。今回の記録は07年第2四半期に達成されたもので，同社では自社のi線スキャナの生産性の平均は06年11月時点に比べ，約30％向上したとしている。なお，同社では，07年中にi線スキャナのラインナップとして，スループットを従来機比10％向上させた「TWINSCAN XT:400G」を追加する予定としている。

• 【ホームページ】 http://www.asml.co.jp/asmldotcom/show.do?ctx=10951&rid=32539

• 富士通，電子デバイス事業の営業体制を刷新（07/9/13）
• Freescale，45nm SOIプロセス製品の概要を発表（07/9/13）
• Intersil，テスタ向け半導体メーカーを買収（07/9/13）
• ASML，i線スキャナで毎時150枚の処理を達成（07/9/13）
• Silvaco，京都にサポートセンターを開設（07/9/13）
• 横河電機，DRAM量産用メモリテスタを発売（07/9/13）
• 信越化学，高輝度LED用シリコーンダイボンド材を開発（07/9/13）

• » 過去のニュース一覧