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XTREMEら，DPP方式によるEUV光源の最高出力500Wを実証（08/2/28）
ウシオ電機の子会社であるXTREME technologiesとRoyal Philips Electronicsの子会社であるPhilips Extreme UV（Philips EUV）は，高集積回路の量産装置（HVM）に必要とされるEUV光源の出力目標を十分に上まわる500Wを実証した，と発表した。両社は原理実験により，DPP方式のEUV光源で，これまで数kHz程度しか確認されていなかった繰り返し周波数が，100kHzまでスケールアップでき，スキャナ入り口では500W以上の出力が達成できることを示した。