IBMとMatheson，32nm以降の技術開発で提携（08/4/30）

IBMとMatheson Tri-Gas（大陽日酸の米国子会社）は，32nm以降の次世代半導体技術向けの材料およびプロセス技術に関する共同研究を行うと発表した。契約期間は4年間で，両社が半導体分野で技術提携するのは今回が初めて。IBMは，新しい高純度ガス分子とその供給システムに関してMathesonと共同研究を行い，原子スケールでの半導体製造技術の開発を進めるとしている。ニューヨーク州アルバニーにあるCollege of Nanoscale Science and Engineering（CNSE）のAlbany NanoTech Complexが開発拠点となる。

• 【ホームページ】 http://www.ibm.com/us/en/?cm_re=masthead-_-home-_-home

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