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Novellus，最新型アッシング装置を発表（08/5/28）
Novellus Systemsは，最新型アッシング装置として「G400」並びに「GxT」の2機種を発表した。いずれも豊富な実績を持ち市場をリードしている同社のGAMMAプラットフォームを採用しており，ファブおよびファンドリにおけるフォトレジスト除去に関する，異なるニーズに対応している。また，フラッシュメモリ，DRAM，ロジックデバイスにおいて高スループットと低ディフェクトという大きなメリットを，ユーザーに提供する。なお，両システムはすでに出荷を開始しており，G400はアジアのメモリメーカーへ，GxTは同じくアジアにある複数の大手ファンドリへ納品されている。