SEMI，カレル・アーバネック記念賞受賞者を発表（08/7/17）

Semiconductor Equipment and Materials International（SEMI）はSEMICON West 2008において，SEMIインターナショナルスタンダード賞の授与式を行った。SEMIスタンダードにおける最高栄誉賞である「カレル・アーバネック記念賞（The Karel Urbanek Memorial Award）」は，Komatsu Silicon AmericaのPaul Langer博士が受賞した。40年を超える長きにわたり，Si材料分野のスタンダード活動に積極的に貢献，4探針抵抗率と抵抗率変化・真性キャリヤ密度のC-V法測定・酸化膜厚を含む，Si結晶材料特性の多数の試験方法開発の中心的存在として活躍した。同賞は92年に創設。SEMIのスタンダード活動に貢献し，半導体・FPD分野のスタンダード開発において傑出したリーダーシップを発揮した個人に対して授与されるもの。

• 【ホームページ】 http://wps2a.semi.org/wps/
  portal/_pagr/117/_pa.117/122?dFormat=
  application/msword&docName=P044199

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