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非接触式 シート抵抗・リーク電流測定装置 FSM RsLシリーズ(ビジョン)

▲非接触式 シート抵抗・リーク電流測定装置 FSM RsLシリーズ(ビジョン)
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FormFactor,新ウェーハプローブカード機能でテスト能力を倍増(08/11/21)

FormFactorは,プローブテストの能力を拡大する最先端のTREテスト技術「DC-Boost」を発表した。DC-Boostは,テスタの能力の一つであるDUT(被試験デバイス)数を拡大できる他,過剰試験あるいは過小試験につながるおそれがある電圧降下を最小限に抑えることができる。また,電圧を正確に測定できるように,デバイスを絶縁状態でテストすることも可能。これらにより,信頼性の高いテストを実現し,かつ歩留りを高めことができる。さらに,既存テスタの寿命を延ばすなど,総合的なテストコストの削減が可能となる。現在,DC-Boostソリューションは,DRAMウェーハテスト用の「PH150XP」プローブカードと「Harmony XP」プローブカードに搭載されている。なお,この新技術は,多くのICメーカーやテストサービスプロバイダが採用しようとしており,その中には世界最大級のウェーハテストサービスプロバイダであるテラプローブも含まれているとしている。


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