マイクロマシン/MEMSの最新動向と製造装置・部材産業
MEMS市場は今，自動車分野を中心として市場が急成長している。加速度センサや圧力センサなどは，自動車の安全，快適性の向上には不可欠で，小型化・信頼性の観点から，両センサではほぼ100％の製品がMEMS化している。また，医療分野においても，テーラーメード医療の実現にMEMSが重要な役割を担うものと思われる。特定の疾患群に対して，有効で安全な医薬品を開発するためにはゲノム情報を解析しアプローチする必要があり，診断・検査を行うデバイスが欠かせない。それを担うのが，DNAチップやμTASチップのようなMEMSデバイス。このように，様々な分野での応用が加速するMEMSは，ポスト半導体として本格成長が目前に迫っている。
